5mの距離からφ500mmを測れる干渉計【SuperFIZ+BE500】
ポイント
|
別定盤でもＯＫ |
５ｍの距離でも測定可能 |
φ５００ｍｍまで |
＜長距離干渉計測実験（海外メーカー製との比較）＞
【前提】
0.8m以上は別の机を用いて計測
【結論】
2.5m、5mの距離では、有名海外メーカー製干渉計で計測できなかったが、当社「SuperFIZ」では計測できた。
（室温を一定にし、空気の擾乱を抑えることにより、5m距離でも更に差は小さくなると推定）
更に、5mの距離で測れる「SuperFIZ」に、「BE500」を組み合わせることで、
5mの距離でφ500mmまでの範囲を干渉計測できます
SuperFIZ 仕様
| DUT diametter | φ102mm |
|---|---|
| Resolution | XY axis(surface) : 200um Z axis(height) : 5nm |
| Laser wavelength | 532nm |
| Focus range | 0～5m |
| Finest shutter speed(min.) | 1/2,713,000s (0.369us) |
| Max france rate | 1,550,000 fps (64×8pxl) 7,000 fps (1024×1024 pxl) |
| Accuracy | λ/100 |
| RMS repeatability | λ/1000 |
| MAX fringe number | 250 fringes (1024×1024 pxl) |
| DUT reflection rate | 0.01～100% |
| Dimension（WDH） | 490×875×223mm |
BE500 仕様
| 倍率 | ||
|---|---|---|
| 使用波長 | ||
| 入射ビーム口径 | ||
| 出射ビーム口径 | ||
| 光軸高さ | ||
| 全長 | （省スペース） | |
| 高さ | （省スペース） | |
| 幅 | （省スペース） | |
| 重量 |
【用途】
・真空チャンバー内のプロセス表面状態のリアルタイム測定 等
精密光学・機械、光学素子材料、バイオ、半導体、宇宙光学などへの活用が期待される