5mの距離から500mmφを測れる干渉計【SuperFIZ+BE500】



ポイント

    別定盤でもOK

  5mの距離でも測定可能

    500mmφまで
  測定可能&省スペース

<長距離干渉計測実験(海外メーカー製との比較)>



【前提】

   0.8m以上は別の机を用いて計測



【結論】

   2.5m、5mの距離では、有名海外メーカー製干渉計で計測できなかったが、当社「SuperFIZ」では計測できた



   (室温を一定にし、空気の擾乱を抑えることにより、5m距離でも更に差は小さくなると推定)



更に、5mの距離で測れる「SuperFIZ」に、「BE500」を組み合わせることで、
5mの距離で500mmφまでの範囲を干渉計測できます



SuperFIZ 仕様

DUT diametter φ102mm
Resolution XY axis(surface) : 200um
Z axis(height) : 5nm
Laser wavelength 532nm
Focus range 0~5m
Finest shutter speed(min.) 1/2,713,000s (0.369us)
Max france rate 1,550,000 fps
(64×8pxl)
7,000 fps
(1024×1024 pxl)
Accuracy λ/100
RMS repeatability λ/1000
MAX fringe number 250 fringes
(1024×1024 pxl)
DUT reflection rate 0.01~100%
Dimension(WDH) 490×875×223mm

BE500 仕様

倍率
5倍
使用波長
532nm
入射ビーム口径
Φ102Hz
出射ビーム口径
Φ510
光軸高さ
380mm
全長
1325mm
(省スペース)
高さ
850mm
(省スペース)
800mm
(省スペース)
重量
360kg

【用途】

 ・大型の光学部品の検査
 ・真空チャンバー内のプロセス表面状態のリアルタイム測定 等



  精密光学・機械、光学素子材料、バイオ、半導体、宇宙光学などへの活用が期待される    




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