報告書

【概要】
1970年代から1980年代にかけ、レーザ光を利用した干渉計が用いられるようになった。1974年にはIBMからBrunningが発表され、コンピュータの高精度化に伴い、1990年代からは、高精度光学部品の計測の基準となっている。
しかし、この位相シフト法では、測定時間が必要であったり、被検物が静止している必要があるなど、課題点も多い。そこで本報告書では、これらの問題点の解決法の一つである、瞬間位相シフト干渉法について紹介する。

【今後の出展予定】

【出展経歴】
■Laser World of Photonics (2015)
■レンズ設計・製造展(2007〜2015)
■SPIE PhotonicsWest(2008〜2015)

■SEMICON JAPAN 2007(2007.12.5(水)〜7(金))
■Nature Photonics Technology Conference in Tokyo 2007(2007.10.23(火)〜25(木))
■Inter Opto’06 (2006)
■Inter Opto’05 (2005)



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