報告書

【概要】
1970年代から1980年代にかけ、レーザ光を利用した干渉計が用いられるようになった。1974年にはIBMからBrunningが発表され、コンピュータの高精度化に伴い、1990年代からは、高精度光学部品の計測の基準となっている。
しかし、この位相シフト法では、測定時間が必要であったり、被検物が静止している必要があるなど、課題点も多い。そこで本報告書では、これらの問題点の解決法の一つである、瞬間位相シフト干渉法について紹介する。

【今後の出展予定】
■SEMICON JAPAN 2008
（2008.12.3(水)〜5(金)）

【出展経歴】
■SEMICON JAPAN 2007（2007.12.5(水)〜7(金)）
■Nature Photonics Technology Conference in Tokyo 2007（2007.10.23(火)〜25(木)）
■レンズ設計・製造展（2007）
■Inter Opto’06 （2006）
■Inter Opto’05 （2005）