12inch縦型平面測定干渉計
| 製品名 | 12inch縦型平面測定干渉計 |
|---|---|
| 特徴 | ・干渉計の口径サイズφ100をBeam Up Converterにより12インチに拡大し、縦型に設置した ・これにより大口径平面の測定を容易に安定して行うことができる ・縦型測定における振動の問題も、瞬間位相シフト干渉計を使用しているため、 高度な除震台を必要とせず、安定した測定が可能 ・大口径になると、位相シフト機構の取り付けや空気の擾乱、振動の問題で、 測定が非常に難しくなるが、弊社製品の瞬間位相シフトフィゾー干渉計Intellium?H2000と 組合わせて使用いただくことで、より安定した測定が可能 ・既に多数のユーザーに支持されている、干渉縞解析ソフトウェアIntelliWave?との連動により、 高精度な測定を簡単操作で実現する ・コンパクトなデザイン、省スペースで設置可能 ・コストパフォーマンスに優れている ・リファレンスもご用意いたします ※ より大口径品もご相談に応じます。 |
IntelliumTM H2000 仕様
| 干渉方式 | フィゾー型レーザー干渉計 |
|---|---|
| データ取込 | 同時位相シフト法（特許取得済み） |
| 光源 | 642nm半導体レーザー （ 25mW/50-70m coherence length ） または1053nm半導体レーザー （ 100-500mW/100m coherence length ） または632.8nm He-Neレーザー （ 300m coherence length ） |
| 偏光 | 直線偏光 （円偏光 変更対応可能） |
| 干渉縞分解能 | 1024×768 pixels |
| RMS繰り返し精度 | λ/3000
（10個のデータセットRMS値の1o、各データセットは16回測定の ピクセルごとの平均、リファレンスは10回測定のピクセルごとの平均） |
| RMS精度 | λ/1000
（リファレンスを差し引いた10個のデータセットのRMS値の平均、 各データ設置は16回測定のピクセルごとの平均、リファレンスは10回測定の ピクセルごとの平均） |
| 非校正時精度 | λ/12 （高精度平面（surface error ＜λ/50 P-V）を20回測定した時のP-Vの平均値） |
| 校正時精度 | λ/100 以上 |
| スピード | 3枚の干渉縞画像を約1/100,000秒 （10μsec）で取り込み |
| アクセサリ | 標準の4インチフィゾー干渉計の透過原器、参照原器が使用可能 並びに標準のビームエキスパンダーが使用可能 |
| ズーム | 1倍～6倍 |
| アライメント | 2スポットアライメントモード |
| ソフトウェア | IntelliWave PE: OPD, PV, RMS, Zernikes, Seidels, PSF, MTF, Geometric Analysis, Automation, HTML Reports and much more, |
