宇宙レベルの光学技術で「見えない」を「見える」に！｜株式会社清原光学

　　

製品名	大口径表面形状測定器
干渉方式	フィゾー型位相シフトレーザ干渉計
光源	632.8nm　レーザ
有効径	φ300～φ600mm各種
用途	大口径の表面形状の測定
特徴	・振動に強い ・×1～×6ズーム付き ・瞬間位相シフトフィゾー型干渉計を利用 ・表面形状を0.1μｍ以上の精度で解析 ・φ300～φ600mmの干渉計を製造可能

※※より大きい口径をご検討の方は、お問い合わせください。