ビームエキスパンダー

  

製品名 ビームエキスパンダー
使用用途 干渉計の口径サイズより被検物のサイズが大きいときに使用
大口径の被検物を測定するとき、レーザービーム径を拡大する
特徴 ・大口径の平面度測定のときに、全面を一枚の干渉図形で測定することが可能
・3種類あり、それぞれ、O100の測定ビーム径を、8inch(約200mm)、
 10inch(約250mm)、 12inch(約300mm)の測定ビームに拡大することが可能
・大口径になると、位相シフト機構の取り付けや空気の擾乱、振動の問題で、
 測定が非常に難しくなるが、弊社製品の瞬間位相シフトフィゾー干渉計Intellium H2000
 と合わせて使用いただくことで、より安定した測定が可能であり、応用の幅が広がる
・コンパクトなデザイン、省スペースで設置可能
・垂直もしくは水平な設置
・コストパフォーマンスに優れている
・リファレンスもご用意いたします
※ より大口径品もご相談に応じます。



5mの距離から500mmφを測れる干渉計【SuperFIZ+BE500】


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