S-Series:ハイパフォーマンス干渉計



APRE社独自のSCI技術により、

                    高速、高解像度

               前処理(ジェル、ワセリン)不要


 均質性(ホモジニティ)
     計測OK

     プリズム
    計測OK

     1mm厚
    計測OK

2018/4/26ワークショップを開催します
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■ Sシリーズ高分解能 - 最高性能の干渉計



■ Sシリーズ標準解像度 - 高性能干渉計



■ REVEAL(TM)OEMソフトウェア:干渉縞解析ソフト



・測定からカスタムレポートまで10秒で
・Windows10 64-bit OS(7は、オプション対応)
・dat形式(Zygo)、hdf5形式(4D)ファイルに互換
・OEM干渉計との接続が可能
・ウェブブラウザ調のインターフェイス画面
・解析ツリーで計測のトレーサビリティを確認可能

<機能、および性能>

アプリケーション <BASIC (標準)>
 ・Form
 ・Radius of Curvature
<フューリエ (オプション)>
 ・MTF, PSF, PSD
<ショップテスト(オプション)>
 ・Wedge
 ・PHom
 ・Prism
 ・Corner Cube
フィルタ ・Masking
・Auto Aperture
・Reference subtract
・Box
・Erosion (inside/out)
・Median
・Individual Zernike
・Spike
・Affine Transforms
解析 ・測定モード
・Vibration Tolerant PSI
・Wavelength Shifting
・Carrier Fringe
・SCI
・Zernike
・3D View
・Sections
・PVr
・Islands
・ISO10110-14
結果 ・ISO & Seidel
・PV, RMS
・PVr
・Tilt
・Power
・Astigmatism
・Coma
・SA3

Ⅱ.SCI:Spectrally Controlled Interferometry
  波長コントロール干渉計測法

■ The Problem:マルチサーフェス干渉


多重反射での測定問題点

・正確で反復可能な測定を妨げる
・プラスチック平行光学系
・薄いメニスカスレンズ

一般的な簡易解決方法

・青テープ
・屈折率のマッチしたジェル
・ワセリン
・一時的なコーティング





なぜ干渉縞はこんなにも複雑なんだろうかと感じませんか?



■ 3面空洞からのSCIデータ(TF - フロント - バック)



■ SCI Attributes



■ SCI Thin Plate Measurement Results



■ SCI のベネフィット(利点)

・多重反射を排除します。
・簡単なアライメント  コヒーレント、インコヒーレント計測を切り替えられます。
・測定ごとの位置再調整が必要ありません。
・レーザースキャニングも不要です。
・計測された面のリアルタイム状態表示が可能です。
・メカニカルな駆動を必要としない位相シフト
・フィゾーキャビティーに制限がありません。
・縞の位置ズレは1カメラフレーム以内(要確認)
・コモンパスなフィゾー式設計







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